Таблетированные мишени для нанесения покрытий в вакууме

Таблетированные мишени

Развитие новых технологий получения материалов и веществ, предназначенных для нанесения покрытий в вакууме, с целью создания в их структуре наноразмерных плазмонных объектов.

Тематический рубрикатор (область применения):
Приборостроение, Химическая промышленность
Вид предлагаемой продукции:
Вещество (материалы, лекарства, рецептуры и др.), Технология (методики, способы)
Степень готовности продукции:
Экспериментальный (макетный) образец
Предложения по сотрудничеству:
  • Внедрение НТП в техпроцесс предприятия
Назначение продукции

Таблетированные мишени для нанесения покрытий состава металл-диэлектрик и полупроводник диэлектрик методами распыления в вакууме.

Краткое техническое описание продукции

Получение новых композиционных материалов в виде компактированных мишеней на основе SiO2-матрицы, допированной соединениями металлов заданного фазового состава.

Технические, инновационные и экономические преимущества продукции
  • возможность получения таблетированных мишеней на основе SiO2-матрицы, содержащих соединения практически любых металлов;
  • высокая степень контроля стехиометрического состава и химической чистоты матрицы мишени;
  • покрытия, формируемые с применением мишеней разработанного состава, могут иметь функцию с плазмонным или плазмон экситонным типом активности и предназначены к применению в оптоэлектронных изделиях нового поколения;
  • возможность испарения мишеней как электронным пучком, так и магнетронным распылением;
  • индивидуальный подбор компонентов мишени (согласно пожеланиям потенциального заказчика).