Предложение - Магнетронные распылительные системы серии МАРС-100

Автор: Завадский Сергей Михайлович
Contacts:
Завадский Сергей Михайлович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Тел. +37517 293 80 79
Моб. +37529 168 04 70
e-mail:szavad@bsuir.by
Магнетронные распылительные системы серии МАРС-100 применяются в технологии вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок и предназначены для нанесения слоев металлов, полупроводников и их соединений методами DC, импульсного MF (10-200 кГц) магнетронного распыления и реактивного магнетронного распыления.
12_124001_1_128297.jpg
Аннотация предложения: 

Магнетронные распылительные системы серии МАРС-100 применяются в технологии вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок и предназначены для нанесения слоев металлов, полупроводников и их соединений методами DC, импульсного MF (10-200 кГц) магнетронного распыления и реактивного магнетронного распыления.

Ключевые слова: 

Система, распылительная система, магнетрон.

Описание предложения: 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

  • Напряжение разряда, В - 300...600;
  • Ток разряда, А - до 5,0;
  • Рабочие газы - инертный или смесь инертного и реактивного газов (O2, N2 , CxHy);
  • Расход газа, мл/мин - до 50;
  • Рабочее давление, Па - 0,05...1,0;
  • Размер мишени, мм Ø - 100 (толщина мишени 1-6 мм)*;
  • Размер подложки, мм - 60x60 **;
  • Скорость нанесения (Al мишень), нм/с - до 20;
  • Габариты магнетрона, мм Ø - 140x105;
  • Масса, кг, не более - 5,0.

* по требованию Заказчика размер мишени может быть изменен в диапазоне от 60 до 170 мм;
** для заданной неравномерности толщины пленки ±10 % на расстоянии 60 мм от поверхности мишени.

Технические и экономические преимущества продукции: 
  • магнетронная система выполнена на Sr-Fe-O постоянных магнитах;
  • прямое водяное охлаждение магнитной системы;
  • охлаждение мишени осуществляется проточной водой через тонкую медную мембрану, которая под действием давления воды плотно прилегает к мишени, что значительно снижает тепловое сопротивление системы мишень-катод и позволяет работать при повышенных мощностях;
  • возможно использование непосредственного охлаждения мишени
  • интегральная система газоснабжения.
Где представлялась продукция: 

Россия, Южная Корея, Китай.

Область применения продукции: 
  • DC магнетронное распыление;
  • импульсное MF магнетронное распыление;
  • DC реактивное магнетронное распыление;
  • импульсное реактивное магнетронное распыление.
Условия и ограничения при реализации продукции: 

Под конкретные требования Заказчика согласно договора.

Влияние на окружающую среду: 

Эксплуатация системы являются экологически безопасной.