Предложение - Технология формирования кластеров германия в пленках поликристаллического кремния, легированного германием

Автор: Гапоненко Николай Васильевич
Contacts:
Гапоненко Николай Васильевич
доктор физико-математических наук, профессор
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
тел.: +375 17 293 88 69
Технология формирования кластеров германия в пленках поликристаллического кремния предназначена для изготовления вентилей для МДП-транзисторов с энергонезависимым СППЗУ, многоцелевых МДП-транзисторов, солнечных элементов, а также для других электронных устройств на основе поликристаллического кремния.
12_124001_1_128684.jpg

European Technologies Transfer Network classifier (IRC)
Classifier of American Commercial Center of Technology Transfer (yet2.com)
Type Products/Services
Categories
Regions prefered for cooperation

Аннотация предложения: 

Технология формирования кластеров германия в пленках поликристаллического кремния предназначена для изготовления вентилей для МДП-транзисторов с энергонезависимым СППЗУ, многоцелевых МДП-транзисторов, солнечных элементов, а также для других электронных устройств на основе поликристаллического кремния.

Ключевые слова: 

Технология, кластеры, пленка, кремний, электроника

Описание предложения: 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

  • Температура осадков, ºС - 520… 540
  • Общее давление газовых смесей, Па - 30… 35
  • Парциальное давление моносилана, Па - 28… 33
  • Соотношение объемов - GeH 4 / SiH 4 = 0,001… 0,003
  • Время осаждения, мин. - 10… 50
  • Высота нанокластера, нм - 1 ... 20
  • Боковой размер, нм - 20 ... 240
Технические и экономические преимущества продукции: 
  • исключается полный пробой диэлектрика затвора, поэтому повышается надежность электронного устройства.
Область применения продукции: 

Электроника, микроэлектроника.

Условия и ограничения при реализации продукции: 

Изготовление и поставка технологии под конкретное требования Заказчика.

Влияние на окружающую среду: 

Производство технологии является экологически безопасным.