Предложение - Разработка эффективных оптических методов контроля геометрических параметров и оптических характеристик наноразмерных слоев, многослойных структур и метаматериалов, используемых в опто- и наноэлектронике

Программное обеспечение расчета электродинамических характеристик градиентных тонкопленочных структур на основании экспериментальных данных волноводной спектроскопии, фотометрии и эллипсометрии.

European Technologies Transfer Network classifier (IRC)
Classifier of American Commercial Center of Technology Transfer (yet2.com)
Type Products/Services
Categories
Product type
Current stage of development
Available forms of cooperation

Аннотация предложения: 

Программное обеспечение расчета электродинамических характеристик градиентных тонкопленочных структур на основании экспериментальных данных волноводной спектроскопии, фотометрии и эллипсометрии.

Ключевые слова: 

Оптические методы исследования, оптические характеристики, тонкопленочные многослойные структуры, наноматериалы.

Описание предложения: 

Спектрофотометрия и эллипсометрия многослойных структур позволяет получить информацию, которая важна для отработки технологии и последующего контроля параметров элементов микро- и наноэлектроники. Одной из важнейших характеристик таких материалов являются дисперсионные функции. Разработка новых методик и программного обеспечения решений прямых и обратных задач спектрофотометрии и эллипсометрии многослойных структур позволит определить дисперсионные функции оптических характеристик, а по ним в приближении эффективных сред – структуру материалов наноразмерных элементов

Технические и экономические преимущества продукции: 

Разработанные методы контроля параметров многослойных структур являются принципиально новыми, дают возможность повысить экономическую эффективность и конкурентоспособность оптических устройств, содержащих многослойные интерференционные покрытия.

Инновационные аспекты предложения: 

Создание и программная реализация методик и алгоритмов решения обратных оптических задач структур, содержащих многокомпонентные и модифицированные поверхностные слои позволяет получить материалы с новыми свойствами, обеспечивающими создание новых субмикронных электронных приборов и устройств.

Область применения продукции: 

Опто- и наноэлектроника.

Практический опыт реализации подобных предложений: 
  • созданы и реализованы программно новые методики и алгоритмы решения прямых и обратных задач спектрофотометрии и эллипсометрии структур, содержащих металлические, полупроводниковые и диэлектрические слои с учетом переходных областей в рамках двухкомпонентных эффективных сред Бругемана и Максвелла-Гарнетта, позволившие определить структуру материалов наноразмерных промышленных элементов и устройств интегральной и волоконной оптики (для ОАО «Интеграл», OOО «ИЗОВАК»);
  • разработано программное обеспечение к спектрофотометру PHOTON RT (для ООО «ЭсентОптикс»);
  • разработаны методы аналитического решения обратных задач спектрофотометрии для прозрачного слоя на поглощающей подложке и поглощающего слоя на поглощающей подложке с диэлектрическим слоем, которые позволяют определять степень оптической анизотропии пленок низкомолекулярных органических и углеродных наноматериалов на кремниевых или кварцевых подложках;
  • разработан способ измерения спектров пропускания поляризационных углов слабопоглощающих структур на спектральном эллипсометре ES-2, который совместно с полученными решениями обратных задач эллипсометрии пропускания позволяет определить дисперсионные зависимости оптических параметров слабопоглощающих структур (в рамках выполнения НИР «Разработка и исследование технологии создания органических и гибридных фотовольтаических ячеек на базе низкомолекулярных и олигомерных органических и углеродных наноматериалов для солнечной энергетики» ГПНИ “Наноматериалы и нанотехнологии”).