Предложение - Полирующие суспензии для первой и второй стадии химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния

Автор: Гайшун Владимир Евгеньевич
Contacts:
Гайшун Владимир Евгеньевич
УО «Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины»
тел. (8 0232) 57 64 36
Представляют собой ультрадисперсную коллоидную систему на основе пирогенного диоксида кремния. Полирующие суспензии применяются для первой и второй стадий химико-механической полировки кремниевых пластин различной ориентации, а также других применений
SPS

European Technologies Transfer Network classifier (IRC)
Classifier of American Commercial Center of Technology Transfer (yet2.com)
UNO Industrial Development Network classifier
Type Products/Services
Categories
Product type
Current stage of development
Copyright progress
Available forms of cooperation
Service support
Regions prefered for cooperation

Аннотация предложения: 

Представляют собой ультрадисперсную коллоидную систему на основе пирогенного диоксида кремния. Полирующие суспензии применяются для первой и второй стадий химико-механической полировки кремниевых пластин различной ориентации, а также других применений

Ключевые слова: 

Суспензия, диоксид кремния, аэросил, химико-механическая полировка, шероховатость.

Описание предложения: 

Предлагаются полирующие суспензии для первой и второй стадий химико-механической полировки кремниевых пластин различной ориентации, а также других применений.

Технические и экономические преимущества продукции: 
  • полирующие суспензии обеспечивают: высокую чистоту поверхности после полировки, малую величину возникающего статического электричества на полировальнике, высокую производительность, лёгкость использования, высокую стабильность и минимальное загрязнение ионами металлов;
  • эффективность химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния заключается в получении зеркальной, гладкой, ровной поверхности с нанометровой (субнанометровой) шероховатостью при достаточно высокой скорости съёма материала;
  • суспензии на основе пирогенного диоксида кремния содержат частицы минимально возможных размеров для обеспечения однородности геометрических и структурных свойств полируемых поверхностей;
  • суспензии являются однородными по фазовому и элементному составу, высокостабильными, простыми в приготовлении и использовании, дешевыми и экологически безопасными.
Инновационные аспекты предложения: 

Возможность адаптации технологических условий получения в зависимости от требований к режимам и стадиям химико-механической полировки.

Точные сведения о правовой охране объектов интеллектуальной собственности: 

Патент РБ № 20444.

Область применения продукции: 

Производство кремниевых пластин.

Практический опыт реализации подобных предложений: 

Опытно-промышленные испытания на Филиале "Камертон" ОАО "Интеграл".

Влияние на окружающую среду: 

Не влияет.