Предложение - Исследовать воздействия облучения на физико-механические свойства кремния и структур на его основе

Автор: Вабищевич Сергей Ананьевич
Contacts:
Вабищевич Сергей Ананьевич
УО «Полоцкий государственный университет»
тел.: +375214 532420
Объектом исследований являлся промышленный фоторезист ФП 9120 на основе фенолформальдегидных смол, имплантированный ионами сурьмы (Sb+) с энергией 60 кэВ в интервале флюенсов от 1×1015 до 5×1016 cм-2 и пластины кремния марки КЭФ 4,5(100), КДБ 12(100) и КДБ 10(111) толщиной 460 ± 20 мкм, имплантированные ионами B+, Р+ и Yb+ с энергией 60 – 1000 кэВ и дозами от 11012 до 11015 см–2. Целью работы являлось исследование характера влияния имплантации ионов Sb+ на физико-механические свойства пленок промышленного фоторезиста ФП 9120 на поверхности кремниевых пластин и имплантации ионов бора и фосфора на физико-механические свойства пластин промышленного кремния марки КЭФ 4,5(100), КДБ 12(100) и КДБ 10(111).

European Technologies Transfer Network classifier (IRC)
Classifier of American Commercial Center of Technology Transfer (yet2.com)
UNO Industrial Development Network classifier
Type Products/Services
Categories
Product type
Current stage of development
Copyright progress
Available forms of cooperation
Service support
Regions prefered for cooperation

Аннотация предложения: 

Объектом исследований являлся промышленный фоторезист ФП 9120 на основе фенолформальдегидных смол, имплантированный ионами сурьмы (Sb+) с энергией 60 кэВ в интервале флюенсов от 1×1015 до 5×1016 cм-2 и пластины кремния марки КЭФ 4,5(100), КДБ 12(100) и КДБ 10(111) толщиной 460 ± 20 мкм, имплантированные ионами B+, Р+ и Yb+ с энергией 60 – 1000 кэВ и дозами от 11012 до 11015 см–2.
Целью работы являлось исследование характера влияния имплантации ионов Sb+ на физико-механические свойства пленок промышленного фоторезиста ФП 9120 на поверхности кремниевых пластин и имплантации ионов бора и фосфора на физико-механические свойства пластин промышленного кремния марки КЭФ 4,5(100), КДБ 12(100) и КДБ 10(111).

Ключевые слова: 

МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ, ФОТОРЕЗИСТ, ИМПЛАНТАЦИЯ, МИКРОИНДЕНТИРОВАНИЕ, МИКРОТВЕРДОСТЬ, ТРЕЩИНОСТОЙКОСТЬ, АДГЕЗИЯ, ЭФФЕКТ ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ, АМОРФИЗАЦИЯ

Описание предложения: 

Объектом исследований являлся монокристаллический кремний и структуры полимер-кремний

Цель работы состояла в исследовании характера изменения прочностных свойств монокристаллического кремния и структур полимер-кремний под влиянием различного рода внешних воздействий (ионная имплантация, быстрый термический отжиг), применяемых при производстве полупроводниковых приборов

Технические и экономические преимущества продукции: 

Отмеченные технические преимущества обеспечивают соответствующие экономические преимущества станка: более высокая производительность вследствие непрерывности процесса обработки; широкая универсальность по форме обработанных зубьев и материала зубчатых колес; уменьшение металлоемкости станка из-за меньших усилий резания.

Где представлялась продукция: 

Количество научных статей в журналах – 10,
участие в конференциях – 12,
заявка на способ определения дефектности монокристаллического кремния – 1

Область применения продукции: 

Результаты работы относятся к области материаловедения полупроводников и структур полимер-кремний. Результаты исследований могут быть использованы при совершенствовании технологии получения полупроводниковых материалов и при производстве на их основе приборов и интегральных микросхем без кардинального изменения технологического процесса.

Практический опыт реализации подобных предложений: 

нет

Влияние на окружающую среду: 

не влияет